Semiconductor processing temperature control

   
   

A temperature control system having a re-circulation loop that uses valves to selectively circulate a temperature control fluid through a cooling system, through a heating system, or through a through passage so as to controlling the temperature of the temperature control fluid, which, in turn, controls the temperature of a target. A temperature sensor monitors the target's temperature. A controller controls valve operation in response to the temperature measured by the temperature sensor to obtain a predetermined target temperature. Beneficially, the controller controls the target's temperature according to a predetermined temperature profile. Continuous etching along a predetermined temperature profile is possible.

Un système de commande de la température ayant une boucle de recyclage qui utilise des valves pour circuler sélectivement un fluide de commande de température par un système de refroidissement, par un système de chauffage, ou par a par le passage commandant la température du fluide de commande de température, qui, alternativement, commande la température d'une cible. Une sonde de température surveille la température de la cible. Une opération de soupape de commande de contrôleur en réponse à la température a mesuré par la sonde de température pour obtenir une température prédéterminée de cible. Avantageusement, le contrôleur commande la température de la cible selon un profil de température prédéterminé. Gravure à l'eau-forte continue le long d'un profil de température prédéterminé est possible.

 
Web www.patentalert.com

< Container for transporting temperature sensitive materials

< Heat exchanger for refrigerator

> Cooling apparatus boiling and condensing refrigerant

> Method of regulating the temperature of integrated circuit modules, using a heat exchanger with a face of a solid malleable metal and a release agent

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