Liquid metal switch and method of manufacture therefor

   
   

A switch device and method for manufacturing the switch device in which substrates are provided collectively having defined therein a liquid metal switch and a sub-channel connected to the liquid metal switch. A cavity filled with sacrificial material is formed in a first one of the substrates. A heater element is formed at least in part over the sacrificial material and conductive vias are formed extending through one of the substrates to the heater element. The sacrificial material is removed and the substrates are joined with an adhesive seal.

Un dispositivo e un metodo dell'interruttore per la produzione del dispositivo dell'interruttore in cui i substrati sono forniti collettivamente definendo in ciò un interruttore liquido del metallo e un sub-channel collegati all'interruttore liquido del metallo. Una cavità si è riempita di materiale sacrificial è formata in primo dei substrati. Un elemento del riscaldatore è formato almeno in parte sopra il materiale sacrificial ed i vias conduttivi sono formati passante attraverso uno dei substrati all'elemento del riscaldatore. Il materiale sacrificial è rimosso ed i substrati si uniscono con una guarnizione adesiva.

 
Web www.patentalert.com

< Semiconductor device and electro-optical device including the same

< Embedding resin and wiring substrate using the same

> Temperature controlled dome-coil system for high power inductively coupled plasma systems

> Semiconductor apparatus including insulating layer having a protrusive portion

~ 00145