An apparatus for supplying a mixture of a treatment liquid and ozone for
treatment of a surface of a workpiece, and a corresponding method are set
forth. The preferred embodiment of the apparatus comprises a liquid supply
line that is used to provide fluid communication between a reservoir
containing the treatment liquid and a treatment chamber housing the
workpiece. A heater is disposed to heat the workpiece, either directly or
indirectly. Preferably, the workpiece is heated by heating the treatment
liquid that is supplied to the workpiece. One or more nozzles accept the
treatment liquid from the liquid supply line and spray it onto the surface
of the workpiece while an ozone generator provides ozone into an
environment containing the workpiece.
Un materiale per fornire una miscela di un liquido di trattamento e l'ozono per il trattamento di una superficie di un pezzo in lavorazione e un metodo corrispondente sono disposti. Il metodo di realizzazione preferito dell'apparecchio contiene un condotto di alimentazione liquido che è usato per fornire la comunicazione fluida fra un serbatoio che contengono il liquido di trattamento e un alloggiamento di trattamento che alloggia il pezzo in lavorazione. Un riscaldatore è disposto di per riscaldare direttamente o indirettamente il pezzo in lavorazione. Preferibilmente, il pezzo in lavorazione è riscaldato riscaldando il liquido di trattamento che è fornito al pezzo in lavorazione. Uno o più ugelli accettano il liquido di trattamento dal condotto di alimentazione liquido e lo spruzzano sulla superficie del pezzo in lavorazione mentre un generatore dell'ozono fornisce l'ozono in un ambiente che contiene il pezzo in lavorazione.
