A stocker includes a first sealing member for stocking an object to be
stocked, an atmosphere control device for controlling an internal
atmosphere of the first sealing member to a first atmosphere of an inert
gas, and a transfer device for transporting an object to be stocked to an
exposure apparatus using an F.sub.2 excimer laser or receiving the object
to be stocked from the exposure apparatus while the object to be stocked
is shielded from an external atmosphere of the first sealing member.
Stocker вклюает первый член запечатывания для запасать предмет, котор нужно запасти, механизма управления атмосферы для контролировать внутренне атмосферу первого члена запечатывания к первой атмосфере инертного газа, и приспособление перехода для транспортировать предмет, котор нужно запасти к прибору выдержки использующ лазер excimer F.sub.2 или получающ предмет, котор нужно запасти от прибора выдержки пока предмет, котор нужно запасти защищен от внешней атмосферы первого члена запечатывания.
