Micromirror devices, especially for use in digital projection are
disclosed. Other applications are contemplated as well. The devices employ
a superstructure that includes a mirror supported over a hinge set above a
substructure. Various improvements to the superstructure over known
micromirror devices are provided. The features described are applicable to
improve manufacturability, enable further miniaturization of the elements
and/or to increase relative light return. Devices can be produced
utilizing the various optional features described herein, possibly
offering cost savings, lower power consumption, and higher resolution.
Os dispositivos de Micromirror, especial para o uso na projeção digital são divulgados. Outras aplicações são contempladas também. Os dispositivos empregam um superstructure que inclua um espelho suportado sobre uma dobradiça ajustada acima de uma subestrutura. As várias melhorias aos dispositivos sabidos excesso do micromirror do superstructure são fornecidas. As características descritas são aplicáveis melhorar o manufacturability, permitem um miniaturization mais adicional dos elementos e/ou aumentar o retorno relativo da luz. Os dispositivos podem ser produzidos utilizando as várias características opcionais descritas economias de custo nisto, possivelmente oferecendo, um consumo de potência mais baixo, e uma definição mais elevada.
