Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to
improve actuator performance and methods for fabricating the same are
disclosed. The shaped electrodes utilize its three-dimensional geometry to
shape an electric field for electrostatic actuation for MEMS devices. For
example, the height, width, length, sidewall slope, and layout of the
shaped electrodes can be used to provide an optimum electric field in
moving a MEMS mirror device. The shaped electrodes can provide
electrostatic actuation at a low operating voltage and provide an optimum
electric field for maximum tilt or angular range of motion for a MEMS
mirror device. The shaped electrodes can be fabricated simply by using a
pillar wafer and an electrode wafer. The pillar wafer can be used to form
pillars as electrodes, or, alternatively, as barriers. A single substrate
can also be used to form pillars and electrodes.
Показаны сформированные электроды для приспособлений микро--елечтро-механически-sistemy (MEMS) для того чтобы улучшить проведение и методы привода для изготовлять эти же. Сформированные электроды используют свою трехмерную геометрию для того чтобы сформировать электрическое поле для электростатического возбуждения для приспособлений MEMS. Например, высоту, ширину, длину, наклон стенки, и план сформированных электродов можно использовать для того чтобы обеспечить оптимальное электрическое поле в двигать приспособление зеркала MEMS. Сформированные электроды могут обеспечить электростатическое возбуждение на низком рабочем потенциале и обеспечить оптимальное электрическое поле для максимального наклона или углового ряда движения для приспособления зеркала MEMS. Сформированные электроды могут быть изготовлены просто путем использование вафли штендера и вафли электрода. Вафлю штендера можно использовать для того чтобы сформировать штендеры как электроды, или, друг, как барьеры. Одиночный субстрат можно также использовать для того чтобы сформировать штендеры и электроды.
