A plasma pump, a plasma processing system and method to pump particles from
a first region containing a plasma to a second region at a higher pressure
is provided. The plasma pump and the plasma processing system each include
a magnetic field producing member disposed within a passageway defined by
an inner wall and an outer wall. The magnetic field producing member
produces an alternating magnetic field that extends generally transverse
to the passageway. An electric field producing member is disposed outside
of the passageway and produces an electric field in a direction generally
transverse to the passageway and generally transverse to the magnetic
field. In one preferred embodiment, the passageway extends vertically and
in another preferred embodiment, the passageway extends horizontally.
Eine Plasmapumpe, ein Verarbeitungssystem des Plasmas und Methode, zum der Partikel von einer ersten Region zu pumpen, die ein Plasma zu einer zweiten Region mit einem höheren Druck enthält, wird zur Verfügung gestellt. Die Plasmapumpe und das Verarbeitungssystem jede des Plasmas schließen ein magnetisches auffangen das Produzieren des Mitgliedes mit ein, das innerhalb eines Durchgangs abgeschaffen wird, der durch eine innere Wand und eine äußere Wand definiert wird. Die magnetischen fangen das Produzieren des Mitgliedes produziert ein Wechseln magnetisch auffangen auf, das im Allgemeinen Quer auf den Durchgang verlängert. Ein elektrisches fangen das Produzieren des Mitgliedes wird abgeschaffen außerhalb des Durchgangs und produziert ein elektrisches auffangen in einer Richtung auf, die zum Durchgang im Allgemeinen quer ist und im Allgemeinen quer zum magnetischen fangen Sie auf. In einem bevorzugte Verkörperung, verlängert der Durchgang vertikal und in einer anderen bevorzugten Verkörperung, verlängert der Durchgang horizontal.
