A charge control circuit for controlling a micro-electromechanical system
(MEMS) device having variable capacitor formed by first conductive plate
and a second conductive plate separated by a variable gap distance. The
charge control circuit comprises a switch circuit configured to receive a
reference voltage having a selected voltage level and configured to
respond to an enable signal having a duration at least as long as an
electrical time constant constant of the MEMS device, but shorter than a
mechanical time constant of the MEMS device, to apply the selected voltage
level across the first and second plates for the duration to thereby cause
a stored charge having a desired magnitude to accumulate on the variable
capacitor, wherein the variable gap distance is a function of the
magnitude of the stored charge.
Ένα κύκλωμα ελέγχου δαπανών για τον έλεγχο μιας micro-electromechanical συσκευής συστημάτων (MEMS) που έχει το μεταβλητό πυκνωτή διαμορφωμένο από το πρώτο αγώγιμο πιάτο και ένα δεύτερο αγώγιμο πιάτο που χωρίζεται από μια μεταβλητή απόσταση χάσματος. Το κύκλωμα ελέγχου δαπανών περιλαμβάνει ένα κύκλωμα διακοπτών που διαμορφώνεται για να λάβει μια τάση αναφοράς που έχει ένα επιλεγμένο επίπεδο τάσης και διαμορφωμένος για να αποκριθεί επιτρέψτε το σήμα που έχει μια διάρκεια τουλάχιστον εφ' όσον μια ηλεκτρική χρονική σταθερά σταθερή της συσκευής MEMS, αλλά πιό σύντομη από έναν μηχανικό χρόνο σταθερό της συσκευής MEMS, για να εφαρμόσει το επιλεγμένο επίπεδο τάσης στα πρώτα και δεύτερα πιάτα κατά τη διάρκεια με αυτόν τον τρόπο στην αιτία μια αποθηκευμένη δαπάνη που έχει ένα επιθυμητό μέγεθος που συσσωρεύει στο μεταβλητό πυκνωτή, όπου η μεταβλητή απόσταση χάσματος είναι μια λειτουργία του μεγέθους της αποθηκευμένης δαπάνης.
