A broadband ellipsometer is disclosed with an all-refractive optical system
for focusing a probe beam on a sample. The ellipsometer includes a
broadband light source emitting wavelengths in the UV and visible regions
of the spectrum. The change in polarization state of the light reflected
from the sample is arranged to evaluate characteristics of a sample. The
probe beam is focused onto the sample using a composite lens system formed
from materials transmissive in the UV and visible wavelengths and arranged
to minimize chromatic aberrations. The spot size on the sample is
preferably less than 3 mm and the aberration is such that the focal shift
over the range of wavelengths is less than five percent of the mean focal
length of the system.
Un ellipsometer de banda ancha se divulga con un sistema óptico todo-refractivo para centrarse una viga de la punta de prueba en una muestra. El ellipsometer incluye una fuente de luz de banda ancha que emite longitudes de onda en las regiones UV y visibles del espectro. El cambio en el estado de polarización de la luz reflejada de la muestra se arregla para evaluar características de una muestra. La viga de la punta de prueba se enfoca sobre la muestra usando un sistema compuesto de la lente formado de los materiales transmissive en las longitudes de onda UV y visibles y dispuesto para reducir al mínimo aberraciones cromáticas. El tamaño del punto en la muestra es preferiblemente menos de 3 milímetros y la aberración es tales que la cambio focal sobre la gama de longitudes de onda es menos de cinco por ciento de la longitud focal mala del sistema.
