A surface micromachined micromagnetic actuator is described, wherein rotary
actuation is accomplished by a member pivotably mounted on the surface of
the substrate. Angular motion of the member about the pivot point is
imparted by the interaction of a magnetic tab affixed to the member, with
flux generated in the gap of an electromagnetic core. Rotary motion is
restricted to less than 360 degrees by using an integrally formed hinge
between the pivoting member and the pivot point, rather than by a more
complex bearing. By virtue of this design, a large range of motion can be
achieved without requiring a true bearing to be fabricated in the device.
The pivoting member is also constrained in either of two stable positions
upon de-energization of the electromagnetic core, by the attachment of a
bistable spring between the pivoting member and the substrate.
Eine Oberfläche micromachined micromagnetic Auslöser wird beschrieben, worin Drehbetätigung von einem Mitglied vollendet wird, das pivotably an der Oberfläche des Substrates angebracht wird. Eckige Bewegung des Mitgliedes über den Gelenkpunkt wird durch die Interaktion eines magnetischen Vorsprunges zugeteilt, der zum Mitglied hinzugefügt wird, wenn der Fluß im Abstand erzeugt ist, eines elektromagnetischen Kernes. Drehbewegung wird weniger als 360 Grad eingeschränkt, indem man ein integral gebildetes Scharnier zwischen dem schwenkenden Mitglied und dem Gelenkpunkt, anstatt durch ein komplizierteres Lager verwendet. Aufgrund dieses Designs kann eine große Strecke der Bewegung erzielt werden, ohne ein zutreffendes Lager zu erfordern, in der Vorrichtung fabriziert zu werden. Das schwenkende Mitglied wird auch in irgendeiner von zwei beständigen Positionen nach De-Erregung des elektromagnetischen Kernes, durch das Zubehör eines bistabilen Frühlinges zwischen dem schwenkenden Mitglied und dem Substrat begrenzt.
