An actuator is made by depositing an electrode layer on an initial layer. A
patterned layer of sacrificial material is formed on the first electrode
layer such that a region of the first electrode layer is exposed through
the subsequent layer. A second electrode layer is deposited and patterned
on the subsequent layer. Then, a third patterned layer of sacrificial
material is formed on the second electrode layer with an opening there
through to the exposed region of the first electrode layer. A structure is
deposited, patterned and planarized on the third layer expose a surface of
the third layer. A third electrode layer is deposited and patterned on the
planarized structure and the exposed surface of the third layer. The
sacrificial material is partially removed, whereby the first electrode
layer, the structure, and the third electrode layer are free to move
together relative to the second electrode layer.
Um atuador é feito depositando uma camada do elétrodo em uma camada inicial. Uma camada modelada de material sacrificial é dada forma na primeira camada do elétrodo tais que uma região da primeira camada do elétrodo está exposta com a camada subseqüente. Uma segunda camada do elétrodo é depositada e modelada na camada subseqüente. Então, uma terceira camada modelada de material sacrificial é dada forma na segunda camada do elétrodo com uma abertura lá completamente à região exposta da primeira camada do elétrodo. Uma estrutura é depositada, modelado e planarized na terceira exposição da camada uma superfície da terceira camada. Uma terceira camada do elétrodo é depositada e modelado no planarized a estrutura e a superfície exposta da terceira camada. O material sacrificial é removido parcialmente, por meio de que a primeira camada do elétrodo, a estrutura, e a terceira camada do elétrodo estão livres juntar relativo à segunda camada do elétrodo.
