A plurality of MEMS devices that can be easily configured to impart
extended ranges of rotational and/or translational motion. The MEMS
devices comprise a micro-electromechanical building block including a
bendable member having a first end connectable to a support structure, and
a straight rigid member having a first end connected to a second end of
the bendable member. In the event the bendable member is in a straight
condition, the rigid member extends from the second end of the bendable
member toward the support structure. Further, the bendable member has a
predetermined length, and the rigid member has a length at least within a
range from one half to the full predetermined length of the bendable
member to allow a free end of the rigid member to undergo extended
rotational and/or translational motion in response to a displacement of
the bendable member. The respective MEMS devices can be employed as
actuators or sensors in a variety of micro-electromechanical and
micro-opto-electromechanical applications.
Una pluralità di dispositivi di MEMS che possono essere configurati facilmente per comunicare le gamme estese di movimento di rotazione e/o translational. I dispositivi di MEMS contengono un blocchetto di costruzione micro-elettromeccanico compreso un membro bendable che ha una prima estremità raccordabile ad una struttura di sostegno e un membro rigido diritto che ha una prima estremità collegata ad una seconda estremità del membro bendable. Nel caso che il membro bendable è in uno stato diritto, il membro rigido si estende dalla seconda estremità del membro bendable verso la struttura di sostegno. Più ulteriormente, il membro bendable ha una lunghezza predeterminata ed il membro rigido ha una lunghezza almeno all'interno di una gamma da una metà al massimo ha predeterminato la lunghezza del membro bendable per permettere che un'estremità libera del membro rigido subisca il movimento di rotazione e/o translational esteso in risposta ad uno spostamento del membro bendable. I dispositivi rispettivi di MEMS possono essere impiegati come gli azionatori o sensori in una varietà di applicazioni micro-elettromeccaniche e micro-opto-elettromeccaniche.
