An ellipsometer, and a method of ellipsometry, for analyzing a sample using
a broad range of wavelengths, includes a light source for generating a
beam of polychromatic light having a range of wavelengths of light for
interacting with the sample. A polarizer polarizes the light beam before
the light beam interacts with the sample. A rotating compensator induces
phase retardations of a polarization state of the light beam wherein the
range of wavelengths and the compensator are selected such that at least a
first phase retardation value is induced that is within a primary range of
effective retardations of substantially 135.degree. to 225.degree., and at
least a second phase retardation value is induced that is outside of the
primary range. An analyzer interacts with the light beam after the light
beam interacts with the sample. A detector measures the intensity of light
after interacting with the analyzer as a function of compensator angle and
of wavelength, preferably at all wavelengths simultaneously. A processor
determines the polarization state of the beam as it impinges the analyzer
from the light intensities measured by the detector.
Ellipsometer, и метод ellipsometry, для анализировать образец использующ обширный ряд длин волны, вклюают источник света для производить луч polychromatic света имея ряд длин волны света для взаимодействовать с образцом. Поляризатор поляризовывает световой луч прежде чем световой луч взаимодействует с образцом. Вращая компенсатор наводит retardations участка положения поляризации светового луча при котором ряд длин волны и компенсатор выбраны таким что по крайней мере наведено первое значение заторможенности участка находится внутри главным образом ряд эффективных retardations существенн 135.degree. к 225.degree., и по крайней мере второму значению заторможенности участка наводит которое вне главным образом ряда. Анализатор взаимодействует с световым лучем после того как световой луч взаимодействует с образцом. Детектор измеряет интенсивность света после взаимодействовать с анализатором как функция угла компенсатора и длины волны, предпочтительн на всех длинах волны одновременно. Обработчик обусловливает положение поляризации луча по мере того как он impinges анализатор от интенсивностей света измеренных детектором.
