This invention provides a structure and method for improved transmission
line operation on integrated circuits. One method of the invention
includes forming transmission lines in an integrated circuit. The method
includes forming a first layer of electrically conductive material on a
substrate. A first layer of insulating material is formed on the first
layer of the electrically conductive material. A pair of high permeability
metal lines are formed on the first layer of insulating material. The pair
of high permeability metal lines include composite hexaferrite films. A
transmission line is formed on the first layer of insulating material and
between and parallel with the pair of high permeability metal lines. A
second layer of insulating material is formed on the transmission line and
the pair of high permeability metal lines. And, the method includes
forming a second layer of electrically conductive material on the second
layer of insulating material.
Deze uitvinding verstrekt een structuur en een methode voor de betere verrichting van de transmissielijn op geïntegreerde schakelingen. Één methode van de uitvinding omvat het vormen van transmissielijnen in een geïntegreerde schakeling. De methode omvat het vormen van een eerste laag van elektrisch geleidend materiaal op een substraat. Een eerste laag van het isoleren van materiaal wordt gevormd op de eerste laag van het elektrisch geleidende materiaal. Een paar hoge lijnen van het doordringbaarheidsmetaal wordt gevormd op de eerste laag van het isoleren van materiaal. Het paar hoge lijnen van het doordringbaarheidsmetaal omvat samengestelde hexaferritefilms. Een transmissielijn wordt gevormd op de eerste laag van het isoleren van materiaal en tussen en parallel met het paar hoge lijnen van het doordringbaarheidsmetaal. Een tweede laag van het isoleren van materiaal wordt gevormd op de transmissielijn en het paar hoge lijnen van het doordringbaarheidsmetaal. En, de methode omvat het vormen van een tweede laag van elektrisch geleidend materiaal op de tweede laag van het isoleren van materiaal.
