The invention provides a tunable filter that can minimize adjacent channel
cross talk despite an increase of a number of available wavelengths and
quickly switch a wavelength to be used, and manufacturing method thereof,
and also an optical switching device comprising such tunable filter. In a
tunable filter having a Fabry-Perot etalon structure, not less than two
cavity gaps 114 to 116 are provided and separation between the cavity gaps
is controlled by any of electrostatic drive, electromagnetic drive or
piezoelectric drive. In this case, the cavity gaps can be formed through
the steps of forming a sacrificial layer in advance where a cavity gap is
to be formed; forming a plurality of optical multilayer films 100 to 103;
and removing the sacrificial layer by etching. Substrates 107 and 109 are
combined through a supporting column 108.
L'invention fournit un filtre réglable qui peut réduire au minimum l'entretien adjacent de croix de canal en dépit d'une augmentation d'un certain nombre de longueurs d'onde disponibles et commute rapidement une longueur d'onde à employer, et la méthode de fabrication en, et également un dispositif de commutation optique comportant un tel filtre réglable. Dans un filtre réglable ayant une structure d'etalon de Fabry-Perot, pas moins de deux lacunes de cavité 114 à 116 sont fournies et la séparation entre les lacunes de cavité est commandée par n'importe quelle partie de commande électrostatique, de commande électromagnétique ou de commande piézoélectrique. Dans ce cas-ci, les lacunes de cavité peuvent être formées par les étapes de former une couche sacrificatoire à l'avance où un espace de cavité doit être formé ; formant une pluralité des films multicouche optiques 100 à 103 ; et enlevant la couche sacrificatoire par gravure à l'eau-forte. Les substrats 107 et 109 sont combinés par une colonne de support 108.
