Illumination apparatus, projection exposure apparatus, and device fabricating method

   
   

A light producing apparatus for irradiating a beam from a light source to a target to produce light having a wavelength different from the beam includes a first condensing optical system for condensing the beam from the light source, and an imaging optical system for imaging onto the target under a demagnification a condensing point of the beam by the first condensing optical system.

Une lumière produisant l'appareil pour irradier un faisceau à partir d'une source lumineuse à une cible pour produire la lumière ayant une longueur d'onde différente du faisceau inclut un premier système optique de condensation pour condenser le faisceau de la source lumineuse, et un système optique de formation image pour la formation image sur la cible sous un demagnification par point de condensation du faisceau par le premier système optique de condensation.

 
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