In a work conveying system including at least a work holder for holding a
work and a horizontal mover for moving the work holder horizontally in an
upper ceiling space within a clean room, the work being conveyed to each
of plural processing apparatuses. The horizontal mover has at least one
linear moving mechanism including a duct with an internal guide, a
traveling body engaging the guide and traveling through the traveling path
defined by the duct, and a slider connected to the traveling body for
travel with the traveling body on the exterior of the traveling path. The
work holder is attached to the slider. Air cleaners are disposed at
suitable intervals in the traveling path to clean the air therein and to
discharge the cleaned air to the exterior. The traveling path accommodates
a drive source, a drive mechanism, and a power supply.
В работе транспортируя систему включая по крайней мере держатель работы для держать работу и горизонтальный движенца для двигать держатель работы горизонтально в верхнем космосе потолка внутри чистая комната, будучи транспортированным работа к каждому из plural обрабатывая приборы. Горизонтальный движенец имеет по крайней мере один линейный moving механизм включая трубопровод при внутренне направляющий выступ, перемещая тело включая направляющий выступ и перемещая через перемещая курс определенный трубопроводом, и слайдер соединенный к перемещая телу для перемещения с перемещая телом на экстерьере перемещая курса. Держатель работы прикреплен к слайдеру. Уборщики воздуха размещаны на целесообразных интервалах в перемещая курсе очистить воздух в этом и discharge очищенный воздух к экстерьеру. Перемещая курс приспосабливает источник привода, механизм привода, и источник питания.
