A substrate transfer apparatus capable of preventing contaminants from
sticking to a substrate again when the substrate is unloaded, wherein a
first support member and a second support member are provided on an arm,
the first support member supporting the substrate when the substrate is
loaded into a processing machine and the second support member supporting
the substrate when the substrate is unloaded from the processing machine.
Прибор переноса субстрата способный предотвращать загрязняющьи елементы от вставлять к субстрату снова когда субстрат расгружен, при котором первый член поддержки и второй член поддержки обеспечены на рукоятке, первом члене поддержки поддерживая субстрат когда субстрат нагружен в обрабатывая машину и второй член поддержки поддерживая субстрат когда субстрат расгружен от обрабатывая машины.
