Some of the key optical components of lithography lasers are very sensitive
to intensive UV radiation. Intensive UV radiation can cause color center
formation in these components. The color centers are reason for laser
energy dropping, worse laser-bandwidth and limited life-time. The on-line
monitoring of the color-center formation during operation of the
lithography lasers detecting laser induced fluorescence and investigation
of the fluorescence spectrum can be helpful for maintenance of lithography
lasers. The fluorescence signal is analyzed and delivers information about
optics quality.
Alguns dos componentes óticos chaves de lasers do lithography são muito sensíveis à radiação UV intensive. A radiação UV intensive pode causar a cor a formação center nestes componentes. Os centros da cor são razão para a energia do laser que deixa cair, uma laser-largura de faixa mais má e vida limitada. A monitoração em linha da formação do cor-centro durante a operação dos lasers do lithography que detectam o fluorescence e a investigação induzidos laser do spectrum do fluorescence pode ser útil para a manutenção de lasers do lithography. O sinal do fluorescence é analisado e entrega a informação sobre a qualidade do sistema ótico.
