An ultra-narrow band fluorine laser apparatus is provided in which a line
width of a fluorine laser can be narrowed to about 0.2 to 0.3 pm without
using any band-narrowing element such as an etalon. In an oscillator 11, a
laser chamber 15 is provided in a stable type resonator constituted by an
output mirror 13 and a totally reflecting mirror 14. The laser chamber 15
is filled with a laser gas at about 0.8 atm. As a result, when discharge
is caused in the laser chamber 15 to cause laser oscillation, laser light
L10 in a bandwidth of about 0.3 pm is provided. The power of the laser
light L10 is increased by an amplifier 12. The amplifier 12 emits laser
light L20 in a bandwidth of about 0.3 pm having laser energy of 10 mJ or
more.
Se proporciona un aparato ultra-estrecho del laser del flúor de la venda en el cual una línea anchura de un laser del flúor se puede enangostar a cerca de 0.2 a 0.3 P.M. sin usar ningún elemento venda-que enangosta tal como un etalon. En un oscilador 11, un compartimiento 15 del laser se proporciona en un tipo estable resonador constituido por un espejo 13 de la salida y un espejo totalmente de reflejo 14. El compartimiento 15 del laser se llena de un gas del laser en cerca de 0.8 atmósfera. Consecuentemente, cuando la descarga se hace en el compartimiento 15 del laser para causar la oscilación del laser, la luz laser L10 en una anchura de banda de cerca de 0.3 P.M. se proporciona. La energía de la luz laser L10 es aumentada en un amplificador 12. El amplificador 12 emite la luz laser L20 en una anchura de banda de cerca de 0.3 P.M. que tiene energía del laser del mJ 10 o más.
