A micro-machined multi-sensor that provides 1-axis of acceleration sensing
and 2-axes of angular rate sensing. The multi-sensor includes a plurality
of accelerometers, each including a mass anchored to and suspended over a
substrate by a plurality of flexures. Each accelerometer further includes
acceleration sense electrode structures disposed along lateral and
longitudinal axes of the respective mass. The multi-sensor includes a fork
member coupling the masses to allow relative antiphase movement, and to
resist in phase movement, of the masses, and a drive electrode structure
for rotationally vibrating the masses in antiphase. The multi-sensor
provides electrically independent acceleration sense signals along the
lateral and longitudinal axes of the respective masses, which are added
and/or subtracted to obtain 1-axis of acceleration sensing and 2-axes of
angular rate sensing.
Ένας μικροϋπολογιστής-επεξεργασμένος στη μηχανή πολυαισθητήρας που παρέχει τον 1-άξονα της αντίληψης επιτάχυνσης και τους 2-άξονες της γωνιακής αντίληψης ποσοστού. Ο πολυαισθητήρας περιλαμβάνει μια πολλαπλότητα των επιταχυμέτρων, κάθε μια συμπεριλαμβανομένης μιας μάζας που δένεται και που αναστέλλεται πέρα από ένα υπόστρωμα από μια πολλαπλότητα των κάμψεων. Κάθε επιταχύμετρο περιλαμβάνει περαιτέρω τις δομές ηλεκτροδίων αίσθησης επιτάχυνσης που διατίθενται κατά μήκος των πλευρικών και διαμήκων αξόνων της αντίστοιχης μάζας. Ο πολυαισθητήρας περιλαμβάνει ένα μέλος δικράνων που συνδέει τις μάζες για να επιτρέψει τη σχετική αντίφασης μετακίνηση, και για να αντισταθεί στη μετακίνηση φάσης, των μαζών, και μιας δομής ηλεκτροδίων κίνησης για δομένος τις rotationally μάζες σε αντίφασης. Ο πολυαισθητήρας παρέχει ηλεκτρικά τα ανεξάρτητα σήματα αίσθησης επιτάχυνσης κατά μήκος των πλευρικών και διαμήκων αξόνων των αντίστοιχων μαζών, οι οποίες προστίθενται ή/και αφαιρούνται για να λάβουν τον 1-άξονα της αντίληψης επιτάχυνσης και τους 2-άξονες της γωνιακής αντίληψης ποσοστού.
