Numerous novel structures and methods are presented for their ability to
correct angular and offset alignment errors caused by thermal distortion
of a device formed out of dissimilar materials, such as a movable platform
and waveguide coupled to a fixed platform and another waveguide. A flexure
connected between two platforms corrects offset alignment errors along the
centerline axis of the flexure. Thermal distortion is corrected also by
varying the relative size of the two platforms and the addition of slots
and/or extraneous waveguides. A waveguide may be sandwiched between two
matching materials, with or without an extra thermal compensation layer
portion. A method uses simple processes to build a substrate with matching
waveguides on each side of the substrate. Another simple method creates a
suspended structure by using simple semiconductor processes.
Le strutture ed i metodi numerosi del romanzo sono presentati affinchè la loro capacità correggano gli errori di allineamento angolari e di derivazione causati da distorsione termica di un dispositivo formato dai materiali dissimili, quali una piattaforma e una guida di onde mobili coppia ad una piattaforma fissa e ad un'altra guida di onde. Una flessione ha collegato fra due piattaforme corregge gli errori di allineamento di derivazione lungo l'asse della linea centrale della flessione. La distorsione termica è corretta inoltre variando il formato relativo delle due piattaforme e l'aggiunta delle scanalature e/o delle guide di onde estranee. Una guida di onde può essere intramezzata fra due materiali di corrispondenza, con o senza una parte termica supplementare di strato della compensazione. Un metodo usa i processi semplici per costruire un substrato con le guide di onde di corrispondenza da ogni lato del substrato. Un altro metodo semplice genera una struttura sospesa usando i processi semplici a semiconduttore.
