A tunable Fabry-Perot filter includes an optical cavity bounded by a
stationary reflector and a deformable or movable membrane reflector. A
second electrostatic cavity outside of the optical cavity includes a pair
of electrodes, one of which is mechanically coupled to the movable
membrane reflector. A voltage applied to the electrodes across the
electrostatic cavity causes deflection of the membrane, thereby changing
the length of the optical cavity and tuning the filter. The filter with
the movable membrane can be formed by micro device photolithographic and
fabrication processes from a semiconductor material in an integrated
device structure. The membrane can include an inner movable membrane
portion connected within an outer body portion by a pattern of tethers.
The tether pattern can be such that straight or radial tethers connect the
inner membrane with the outer body. Alternatively, a tether pattern with
tethers arranged in a substantially spiral pattern can be used.
Tunable фильтр Fabry-Perot вклюает оптически полость прыгнутую неподвижным рефлектором и deformable или подвижным рефлектором мембраны. Вторая электростатическая полость вне оптически полости вклюает пару электродов, одно из которых механически соединено к подвижному рефлектору мембраны. Напряжение тока применилось к электродам через электростатическое отклонение причин полости мембраны, таким образом изменяя длину оптически полости и настраивая фильтр. Фильтр с подвижной мембраной может быть сформирован микро- приспособлением photolithographic и процессами изготовления от материала полупроводника в интегрированной структуре приспособления. Мембрана может включить внутреннюю подвижную часть мембраны соединенную внутри наружное тело, котор часть картиной привязывает. Картина привязывать может быть таким что прямо или radial привязывает соедините внутреннюю мембрану с наружным телом. Друг, картину привязывать с привязывает после того как она аранжирована в существенн спиральн картине можно использовать.
