Method and apparatus for optically testing (e.g., using a laser beam) an
operating integrated circuit (device under test--DUT) that actively
control the operating temperature of the DUT. This is chiefly useful with
flip-chip packaged ICs. The temperature of the DUT varies with its
operating power consumption, and this fluctuation in temperature adversely
affects the results obtained during optical probing or other optical
testing. Furthermore, the DUT may be damaged if its temperature exceeds
design limits. The temperature of the DUT is controlled by thermally
contacting the exposed backside surface of the DUT die to a diamond film
heat conductor, an associated heat sink structure, and at least one
thermoelectric device. The thermoelectric device is controlled by a
temperature sensor proximal to the DUT. By controlling the amount and
direction of the electrical current supplied to the thermoelectric device
in response to the sensed temperature, the temperature of the DUT is
maintained.
Μέθοδος και συσκευές για οπτικά (π.χ., χρησιμοποιώντας μια ακτίνα λέιζερ) ένα λειτουργούν ολοκληρωμένο κύκλωμα (συσκευή υπό δοκιμή -- DUT) που ελέγχει ενεργά τη λειτουργούσα θερμοκρασία του DUT. Αυτό είναι κυρίως χρήσιμο με συσκευασμένο κτύπημα-τσιπ ICs. Η θερμοκρασία του DUT ποικίλλει με τη λειτουργούσα κατανάλωση ισχύος της, και αυτή η διακύμανση στη θερμοκρασία έχει επιπτώσεις στα αποτελέσματα που επιτυγχάνονται κατά τη διάρκεια της οπτικής εξέτασης ή άλλης οπτικής δοκιμής. Επιπλέον, το DUT μπορεί να βλαφθεί εάν η θερμοκρασία της υπερβαίνει τα όρια σχεδίου. Η θερμοκρασία του DUT ελέγχεται με θερμικά να έρθει σε επαφή με την εκτεθειμένη επιφάνεια πίσω πλευρών του κύβου DUT σε έναν αγωγό θερμότητας ταινιών διαμαντιών, μια σχετική δομή νεροχυτών θερμότητας, και τουλάχιστον μια θερμοηλεκτρική συσκευή. Η θερμοηλεκτρική συσκευή ελέγχεται από έναν αισθητήρα θερμοκρασίας κεντρικό στο DUT. Με τον έλεγχο του ποσού και της κατεύθυνσης του ηλεκτρικού ρεύματος που παρέχεται στη θερμοηλεκτρική συσκευή σε απάντηση στην αισθανμένη θερμοκρασία, η θερμοκρασία του DUT διατηρείται.
