An array of bottom-emitting VCSELs, with its substrate still intact, is
tested by means of a probe that includes an optoelectronic array, which is
aligned and coupled to the top surface of the VCSEL array. The probe is
aligned to the VCSEL array just once. The optoelectronic array includes
driver circuits for energizing the VCSELs and the photodetection circuits
in a predetermined sequence for detecting the back emission that leaks
through the top mirror of each VCSEL. In another embodiment, this probe
and method are applied to testing bottom-emitting VCSELs one at a time.
The VCSELs may discrete devices or part of an array. In accordance with
another aspect of our invention, an array of bottom-emitting VCSELs, with
its substrate still in intact, is tested by means of a probe that includes
separate electronic and photodetection arrays. The probe is aligned to the
VCSEL array just once. The electronic array, which is electrically coupled
to the top surface of the VCSEL array, includes driver circuits for
energizing the VCSELs. The photodetection array is aligned and coupled to
the bottom of the substrate in order to detect the primary bottom emission
of the energized VCSELs. The photodetection array is aligned so that each
detector receives the emission from a particular VCSEL, but because the
substrate is relatively thick, the divergence of the bottom emission
produces cross-talk; that is, the bottom emission of one VCSEL may be
received by an adjacent photodetector that is supposed to detect only the
emission from another VCSEL. To alleviate this cross-talk problem, the
VCSELs are energized in a first predetermined sequence and/or the
photodetector circuitry is turned on in a second predetermined sequence.
Un arsenal de VCSELs fondo-que emite, con su substrato aún intacto, se prueba por medio de una punta de prueba que incluya un arsenal optoelectrónico, que se alinea y se junta a la superficie superior del arsenal de VCSEL. La punta de prueba se alinea con el arsenal de VCSEL apenas una vez. El arsenal optoelectrónico incluye los circuitos del conductor para energizar el VCSELs y los circuitos del photodetection en una secuencia predeterminada para detectar la emisión trasera esa los escapes a través del espejo superior de cada VCSEL. En otra encarnación, esta punta de prueba y método se aplican a VCSELs fondo-que emite de prueba uno a la vez. El VCSELs puede los dispositivos o parte discretos de un arsenal. De acuerdo con otro aspecto de nuestra invención, un arsenal de VCSELs fondo-que emite, con su substrato aún adentro intacto, se prueba por medio de una punta de prueba que incluya órdenes electrónicos y del photodetection separados. La punta de prueba se alinea con el arsenal de VCSEL apenas una vez. El arsenal electrónico, que se junta eléctricamente a la superficie superior del arsenal de VCSEL, incluye los circuitos del conductor para energizar el VCSELs. El arsenal del photodetection se alinea y se junta al fondo del substrato para detectar la emisión inferior primaria del VCSELs energizado. Se alinea el arsenal del photodetection de modo que cada detector reciba la emisión de un VCSEL particular, pero porque el substrato es relativamente grueso, la divergencia de la emisión inferior produce interferencia; es decir, la emisión inferior de un VCSEL se puede recibir por un fotodetector adyacente que se suponga para detectar solamente la emisión de otro VCSEL. Para aliviar este problema de la interferencia, los VCSELs se energizan en un primer predeterminaron secuencia y/o el trazado de circuito del fotodetector se gira en una segunda secuencia predeterminada.
