In a light heating apparatus having a flash lamp in which noble gas is
enclosed, a casing surrounding the flash lamp, a stage where a silicon
wafer on which light from the flash lamp is emitted is placed, and a power
feeding apparatus for controlling light emission of the flash lamp, B/A is
greater than 1.0 wherein integrated radiant intensity in a range from 220
to 370 nm wavelength is represented as A and integrated radiant intensity
in a range from 370 to 800 nm wavelength.
In een licht het verwarmen wordt het apparaat dat een flitslamp heeft waarin het edele gas ingesloten is, een omhulsel dat de flitslamp, een stadium omringt waar een siliciumwafeltje waarop licht van flits de lamp wordt uitgezonden geplaatst, en een macht het voeden apparaat om lichte emissie van de flitslamp te controleren, B/A is groter dan 1,0 waarin de geïntegreerde stralende intensiteit in een waaier van 220 tot 370 NMGOLFLENGTE als A en geïntegreerde stralende intensiteit in een waaier van 370 tot 800 NMGOLFLENGTE wordt vertegenwoordigd.
