This invention provides a transport apparatus having a simple configuration
that can reduce its turning radius and transport semiconductor devices at
high speed. The transport apparatus comprising the first and second arms
having at a first end of each thereof a rotary drive shaft being arranged
coaxially, and third and fourth arms rotatably linked at respective the
first ends thereof to the respective second ends of the first and second
arms. The second ends of the third and fourth arms are supported around
centers of coaxially arranged spindles, respectively. The transport
apparatus further comprises an articulating mechanism having an attitude
control mechanism adapted to apply rotary forces with opposite phases to
the respective spindles arranged at the third and fourth arms.
Αυτή η εφεύρεση παρέχει μια συσκευή μεταφορών που έχει μια απλή διαμόρφωση που μπορεί να μειώσει τις γυρίζοντας συσκευές ημιαγωγών ακτίνας της και μεταφορών με την υψηλή ταχύτητα. Η συσκευή μεταφορών περιλαμβάνοντας τα πρώτα και δεύτερα όπλα που έχουν σε ένα πρώτο τέλος κάθε επ' αυτού ενός περιστροφικού άξονα κίνησης που τακτοποιείται coaxially, και τα τρίτα και τέταρτα όπλα που συνδέονται περιστροφικά σε αντίστοιχο τα πρώτα τελειώνουν επ' αυτού στις αντίστοιχες δεύτερες άκρες των πρώτων και δεύτερων όπλων. Οι δεύτερες άκρες των τρίτων και τέταρτων όπλων υποστηρίζονται γύρω από τα κέντρα των coaxially τακτοποιημένων αξόνων, αντίστοιχα. Η συσκευή μεταφορών περιλαμβάνει περαιτέρω έναν αρθρώνοντας μηχανισμό που έχει έναν μηχανισμό ελέγχου τοποθέτησης προσαρμοσμένο για να εφαρμόσει τις περιστροφικές δυνάμεις με τις αντίθετες φάσεις στους αντίστοιχους άξονες που τακτοποιούνται στα τρίτα και τέταρτα όπλα.
