A method and an apparatus for performing process control at an interconnect
level. A process step upon a workpiece is performed. Manufacturing data
relating to an interconnect location on the workpiece is acquired. An
interconnect characteristic control process is performed based upon the
manufacturing data. The interconnect characteristic control process
includes controlling a process relating to a structure associated with the
interconnect location on the workpiece to control a characteristic
relating to the interconnect location.
Un método y un aparato para realizar control de proceso en un nivel de la interconexión. Un paso de proceso sobre un objeto se realiza. Los datos de la fabricación referentes a una localización de la interconexión en el objeto se adquieren. Una interconexión que se realiza el proceso característico del control basó sobre los datos de la fabricación. El proceso característico del control de la interconexión incluye controlar un proceso referente a una estructura asociada a la localización de la interconexión en el objeto para controlar una característica referente a la localización de la interconexión.
