A high performance objective having very small central obscuration, an
external pupil for apertureing and Fourier filtering, loose manufacturing
tolerances, large numerical aperture, long working distance, and a large
field of view is presented. The objective is preferably telecentric. The
design is ideally suited for both broad-band bright-field and laser dark
field imaging and inspection at wavelengths in the UV to VUV spectral
range.
Μια υψηλή απόδοση αντικειμενική έχοντας πολύ μικρό κεντρικό obscuration, έναν εξωτερικό μαθητή για και το φιλτράρισμα Fourier, τις χαλαρές ανοχές κατασκευής, το μεγάλο αριθμητικό άνοιγμα, τη μεγάλη απόσταση εργασίας, και ένα μεγάλο οπτικό πεδίο παρουσιάζεται. Ο στόχος είναι κατά προτίμηση telecentric. Το σχέδιο ταιριάζει ιδανικά και για τον ευρυζωνικό φωτεινός-τομέα και σκοτεινή την επιθεώρηση τομέων λέιζερ απεικόνιση και για στα μήκη κύματος στο UV στη φασματική σειρά VUV.
