Broad band DUV, VUV long-working distance catadioptric imaging system

   
   

A high performance objective having very small central obscuration, an external pupil for apertureing and Fourier filtering, loose manufacturing tolerances, large numerical aperture, long working distance, and a large field of view is presented. The objective is preferably telecentric. The design is ideally suited for both broad-band bright-field and laser dark field imaging and inspection at wavelengths in the UV to VUV spectral range.

Μια υψηλή απόδοση αντικειμενική έχοντας πολύ μικρό κεντρικό obscuration, έναν εξωτερικό μαθητή για και το φιλτράρισμα Fourier, τις χαλαρές ανοχές κατασκευής, το μεγάλο αριθμητικό άνοιγμα, τη μεγάλη απόσταση εργασίας, και ένα μεγάλο οπτικό πεδίο παρουσιάζεται. Ο στόχος είναι κατά προτίμηση telecentric. Το σχέδιο ταιριάζει ιδανικά και για τον ευρυζωνικό φωτεινός-τομέα και σκοτεινή την επιθεώρηση τομέων λέιζερ απεικόνιση και για στα μήκη κύματος στο UV στη φασματική σειρά VUV.

 
Web www.patentalert.com

< Beam expander

< Optical disc device

> Module of a solid-state platelet light-pumped laser

> Thin film magnetic memory device provided with program element

~ 00154