A device for the non-contacting measurement of an object to be measured,
particularly for distance and/or vibration measurement, has at least one
laser light source, optical devices for splitting the light into object
light (4) and reference light (5) for interacting with the object to be
measured and for superimposing object light and reference light following
the interaction of the object light with the object to be measured,
preferably a frequency shift device in the form of a Bragg cell for
producing a frequency shift between the object light and the reference
light and a detecting device (15) for converting reference light and
object light into electrical signals suitable for further processing. The
detecting device has at least two series-connected optoelectronic
transducers in the form of photodiodes (30, 31). Between the transducers
is located a tap (32) for tapping a difference signal which, for further
processing, is supplied to a transimpedance circuit (33) associated with
one of the transducers. Thus, there is a subtraction of photodiode
currents prior to processing in an amplifier circuit in a balanced
detection arrangement. This inexpensively permits measurements at high
reference light power with resolutions in the quantum noise limit range.
Un dispositif pour la mesure de non contact d'un objet à mesurer, en particulier la distance et/ou la mesure de vibration, a au moins une source de lumière laser, circuits optiques pour dédoubler la lumière dans la lumière d'objet (4) et la lumière de référence (5) pour agir l'un sur l'autre avec l'objet à mesurer et pour superposer la lumière d'objet et la lumière de référence suivant l'interaction de la lumière d'objet avec l'objet à mesurer, de préférence un dispositif de décalage de fréquence sous forme de cellule de Bragg pour produire un décalage de fréquence entre la lumière d'objet et la lumière de référence et un dispositif détectant (15) pour la lumière convertissante de référence et la lumière d'objet dans les signaux électriques appropriés à une transformation plus ultérieure. Le dispositif détectant a au moins deux capteurs optoélectroniques connectés en série sous forme de photodiodes (30, 31). Entre les capteurs est situé un robinet (32) pour taper un signal de différence qui, pour une transformation plus ultérieure, est fourni à un circuit de transimpedance (33) lié à un des capteurs. Ainsi, il y a une soustraction des courants de photodiode avant de traiter dans un circuit d'amplificateur dans un arrangement équilibré de détection. Ceci permet économiquement des mesures à la puissance élevée de lumière de référence avec des résolutions dans la gamme de limite de bruit de quantum.
