A piezoactuator has a diaphragm, and the diaphragm has flat piezoelectric
elements that oscillate in a longitudinal oscillation mode and a
sinusoidal oscillation mode. A first electrode for detecting oscillation
in the longitudinal oscillation mode, and a second electrode for detecting
the amplitude of oscillation in the sinusoidal oscillation mode, are
disposed on the surface of the diaphragm. When the piezoactuator is driven
with a drive signal, the phase difference of a first detection signal
output from the first electrode and a second detection signal output from
the second electrode is detected. The frequency at which the detected
phase difference becomes the maximum phase difference is then obtained,
and a drive signal of a matching frequency is applied to the piezoelectric
elements.
Ένα piezoactuator έχει ένα διάφραγμα, και το διάφραγμα έχει τα επίπεδα πιεζοηλεκτρικά στοιχεία που ταλαντεύονται σε έναν διαμήκη τρόπο ταλάντωσης και έναν ημιτονοειδή τρόπο ταλάντωσης. Ένα πρώτο ηλεκτρόδιο για την ανίχνευση της ταλάντωσης στο διαμήκη τρόπο ταλάντωσης, και ένα δεύτερο ηλεκτρόδιο για την ανίχνευση του εύρους της ταλάντωσης στον ημιτονοειδή τρόπο ταλάντωσης, διατίθενται στην επιφάνεια του διαφράγματος. Όταν το piezoactuator οδηγείται με ένα σήμα κίνησης, η διαφορά φάσης μιας πρώτης παραγωγής σημάτων ανίχνευσης από το πρώτο ηλεκτρόδιο και μιας δεύτερης παραγωγής σημάτων ανίχνευσης από το δεύτερο ηλεκτρόδιο ανιχνεύεται. Η συχνότητα στην οποία η ανιχνευμένη διαφορά φάσης γίνεται η μέγιστη διαφορά φάσης λαμβάνεται έπειτα, και ένα σήμα κίνησης μιας ταιριάζοντας με συχνότητας εφαρμόζεται στα πιεζοηλεκτρικά στοιχεία.
