An electrostatic micromechanical device with continuously variable
displacement, that includes: a movable member having a first electrode; an
opposing surface having a second electrode; a channel separating the
movable member from the opposing surface; a liquid situated in the
channel, wherein the liquid has a sufficiently high dielectric constant so
as to enable continuously variable and stable control of a displacement of
the movable member over a travel range spanning at least half of the
channel; the displacement being a result of a voltage applied between the
first electrode and the second electrode; and at least one solid
dielectric layer physically situated between the first electrode and the
second electrode.
Eine elektrostatische micromechanical Vorrichtung mit ununterbrochen variabler Versetzung, die schließt ein: ein bewegliches Mitglied, das eine erste Elektrode hat; eine entgegensetzende Oberfläche, die eine zweite Elektrode hat; eine Führung, die das bewegliche Mitglied von der entgegensetzenden Oberfläche trennt; eine Flüssigkeit aufgestellt in der Führung, worin die Flüssigkeit eine genug hohe Dielektrizitätskonstante, damit ununterbrochen variabler und beständiger Steuerung einer Versetzung des beweglichen Mitgliedes über einer Spielraumstrecke zu ermöglichen hat, die mindestens Hälfte der Führung überspannt; die Versetzung, die ein Resultat einer Spannung ist, traf zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode zu; und mindestens eine feste dielektrische Schicht physikalisch aufgestellt zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode.
