A projection system, a spatial light modulator, and a method for forming
micromirrors are disclosed. A substrate comprises circuitry and electrodes
for electrostatically deflecting micromirror elements that are disposed
within an array of such elements forming the spatial light modulator. In
one embodiment, the substrate is a silicon substrate having circuitry and
electrodes thereon for electrostatically actuating adjacent micromirror
elements, and the substrate is fully or selectively covered with a light
absorbing material.
Ένα σύστημα προβολής, ένας χωρικός ελαφρύς διαμορφωτής, και μια μέθοδος για τα micromirrors αποκαλύπτονται. Ένα υπόστρωμα περιλαμβάνει τα στοιχεία κυκλώματος και τα ηλεκτρόδια για electrostatically να εκτρέψει τα στοιχεία micromirror που διατίθενται μέσα σε μια σειρά τέτοιων στοιχείων που διαμορφώνουν το χωρικό ελαφρύ διαμορφωτή. Σε μια ενσωμάτωση, το υπόστρωμα είναι ένα υπόστρωμα πυριτίου που έχει τα στοιχεία κυκλώματος και τα ηλεκτρόδια επ'αυτού για electrostatically να ωθήσει τα παρακείμενα στοιχεία micromirror, και το υπόστρωμα καλύπτεται πλήρως ή επιλεκτικά με ένα ελαφρύ απορροφώντας υλικό.
