A method of deposition of a phosphor in a single-source sputtering process,
in which the phosphor is selected from the group consisting of ternary,
quaternary or higher thioaluminate, thiogallate and thioindate phosphors,
and composites thereof, synthesized with cations selected from Groups IIA
and IIB of the Periodic Table of Elements. The phosphor is of a
pre-determined composition of elements. The method comprising sputtering
in a hydrogen sulphide atmosphere from a single source composition so as
to deposit a composition on a substrate. The composition of the targets of
the single source has a relative increase in concentration of elements of
the phosphor that have a lower atomic weight compared to other elements in
said phosphor. The relative increase is controlled such that deposition of
the pre-determined composition is effected on the substrate. Preferred
phosphors are barium thioaluminate (BaAl.sub.2 S.sub.4 :Eu), and barium
magnesium thioaluminates.
Een methode van deposito van een fosfoor in een enig-bron het sputteren proces, waarin de fosfoor uit de groep geselecteerd wordt die daarvan uit ternaire, quaternaire of hogere thioaluminate, thiogallate en thioindate fosfoor, en samenstellingen bestaat, die met kationen worden samengesteld die uit Groepen IIA en IIB de Periodieke Lijst van Elementen worden geselecteerd. De fosfoor is van een vooraf bepaalde samenstelling van elementen. De methode die uit het sputteren in een atmosfeer van het waterstofsulfide van één enkele bronsamenstelling bestaat om een samenstelling op een substraat te deponeren. De samenstelling van de doelstellingen van de enige bron heeft een relatieve verhoging van concentratie van elementen van de fosfoor die een lager atoomgewicht hebben in vergelijking met andere elementen in bovengenoemde fosfoor. De relatieve verhoging wordt gecontroleerd dusdanig dat het deposito van de vooraf bepaalde samenstelling op het substraat wordt uitgevoerd. De aangewezen fosfoor is barium thioaluminate (BaAl.sub.2 S.sub.4:Eu), en bariummagnesium thioaluminates.
