The invention provides a method of determining a lattice constant of an
arbitrary material such as a polycrystalline material speedily and easily,
and a method of evaluating the stress and strain of the material speedily.
According to the invention, the lattice constant of a standard sample is
varied within a predetermined range and finds the HOLZ line pattern of the
standard sample by calculation using an equation (y=f(x,
a)=.alpha.(a)x+.beta.(a)) and the data of the pattern is accumulated to
form a data library. On the other hand, a test sample to be measured is
irradiated and scanned with a convergent electron beam. Then, a developing
HOLZ line pattern is compared with the HOLZ line pattern in the data
library and the most similar HOLZ line pattern is selected. From the data
of the lattice constant of the data library having the most similar HOLZ
line pattern, the lattice constant of the test sample to be measured is
determined. Moreover, the distribution state of the stress and strain of
the test sample to be measured can be two-dimensionally mapped by the use
of the lattice constant determined in this manner.
Die Erfindung liefert eine Methode von eine Gitterkonstante eines willkürlichen Materials wie ein polykristallines Material schnell und leicht feststellen und eine Methode von den Druck und die Belastung des Materials schnell auswerten. Entsprechend der Erfindung wird die Gitterkonstante einer Standardprobe innerhalb eines vorbestimmten Bereiches verändert und die HOLZ Linie Muster der Standardprobe durch Berechnung mit einer Gleichung (y=f(x, a)=.alpha.(a)x+.beta.(a)) findet und die Daten des Musters werden angesammelt, um eine Datenbibliothek zu bilden. Andererseits wird eine gemessen zu werden Testprobe mit einem konvergenten Elektronenstrahl bestrahlt und abgelichtet. Dann wird eine sich entwickelnde HOLZ Linie Muster mit der HOLZ Linie Muster in der Datenbibliothek verglichen und die ähnlichste HOLZ Linie Muster wird vorgewählt. Von den Daten der Gitterkonstante der Datenbibliothek, welche die ähnlichste HOLZ Linie Muster hat, wird die Gitterkonstante der gemessen zu werden Testprobe festgestellt. Außerdem kann der Verteilung Zustand des Druckes und der Belastung der gemessen zu werden Testprobe durch den Gebrauch von der Gitterkonstante two-dimensionally abgebildet werden, die in dieser Weise festgestellt wird.
