A substrate handling apparatus includes a transfer arm having a substrate
support. The apparatus includes at least one image acquisition sensor
configured to acquire images of a substrate supported by the substrate
support. In addition, the apparatus includes a controller coupled to the
image acquisition sensor and configured to control the image acquisition
sensor to acquire at least one image of the substrate supported on the
substrate support. The controller is further configured to receive the
images acquired by the image acquisition sensor and to determine an
initial position of the substrate based on the acquired images. The
controller is further coupled to the substrate support to control movement
thereof to move the substrate to a new position based on the substrate's
initial position. The apparatus also can be used to determine a substrate
identification and to detect certain substrate defects either before or
after processing the substrate in a thermal processing chamber. A method
of positioning a substrate on a transfer arm also is disclosed.
Μια συσκευή χειρισμού υποστρωμάτων περιλαμβάνει έναν βραχίονα μεταφοράς που έχει μια υποστήριξη υποστρωμάτων. Η συσκευή περιλαμβάνει τουλάχιστον έναν αισθητήρα αποκτήσεων εικόνας που διαμορφώνεται για να αποκτήσει τις εικόνες ενός υποστρώματος που υποστηρίζεται από την υποστήριξη υποστρωμάτων. Επιπλέον, η συσκευή περιλαμβάνει έναν ελεγκτή που συνδέεται με τον αισθητήρα αποκτήσεων εικόνας και που διαμορφώνεται για να ελέγξει τον αισθητήρα αποκτήσεων εικόνας για να αποκτήσει τουλάχιστον μια εικόνα του υποστρώματος που υποστηρίζεται στην υποστήριξη υποστρωμάτων. Ο ελεγκτής διαμορφώνεται περαιτέρω για να λάβει τις εικόνες που αποκτιούνται από τον αισθητήρα αποκτήσεων εικόνας και για να καθορίσει μια αρχική θέση του υποστρώματος βασισμένου στις επίκτητες εικόνες. Ο ελεγκτής συνδέεται περαιτέρω με την υποστήριξη υποστρωμάτων στη μετακίνηση ελέγχου για να κινήσει επ' αυτού το υπόστρωμα προς μια νέα θέση βασισμένη στην αρχική θέση του υποστρώματος. Οι συσκευές μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν για να καθορίσουν έναν προσδιορισμό υποστρωμάτων και για να ανιχνεύσουν ορισμένες ατέλειες υποστρωμάτων είτε πρίν είτε μετά από επεξεργάζονται το υπόστρωμα σε μια θερμική αίθουσα επεξεργασίας. Μια μέθοδος ένα υπόστρωμα σε έναν βραχίονα μεταφοράς επίσης αποκαλύπτεται.
