Systems and methods for detecting the endpoint of a polishing step. In
general, an electropolishing system is provided with a power supply
configured to deliver a current through an electrolytic solution. Signal
characteristics of the signal provided by the power supply are monitored
to determine a polishing endpoint. Illustratively, the monitored signal
characteristics include current and voltage.
Systemen en methodes om het eindpunt van een oppoetsende stap te ontdekken. In het algemeen, wordt een electropolishing systeem voorzien van een machtslevering die wordt gevormd om een stroom door een elektrolytische oplossing te leveren. De kenmerken van het signaal van het signaal dat door de machtslevering wordt verstrekt worden gecontroleerd om een het oppoetsen eindpunt te bepalen. Ter illustratie, omvatten de gecontroleerde signaalkenmerken stroom en voltage.
