The invention is aimed to prevent that fall of characteristic of a solar
battery and producing yield caused by particles of powder condition
generating from working part at laser beam process in the method producing
the solar battery by laser beam process. The constitution of the invention
is characterized by comprising: a first step forming the lower electrode
and the semiconductor layer on the insulating substrate by laminating; a
second step forming a protective film on surface of the semiconductor; a
third step forming an opening portion at the semiconductor layer, or the
semiconductor layer and the lower electrode by laser beam process after
the second step; and a fourth step removing the protective film.
L'invenzione è mirata per impedire quella caduta della caratteristica di una batteria solare e rendimento produrre causato dalle particelle dello stato della polvere che generano la parte mobile al processo del fascio laser nel metodo producendo la batteria solare tramite il processo del fascio laser. La costituzione dell'invenzione è caratterizzata contenendo: un primo punto che formano l'elettrodo più basso ed il semiconduttore fanno uno strato di sul substrato isolante laminando; un secondo punto che forma una pellicola protettiva su superficie del semiconduttore; un terzo punto che formano una parte di apertura allo strato a semiconduttore, o lo strato a semiconduttore e l'elettrodo più basso tramite il processo del fascio laser dopo il secondo punto; e un punto di quarto che rimuove la pellicola protettiva.
