Fast high-accuracy multi-dimensional pattern inspection

   
   

A method and apparatus are provided for identifying diffe rences between a stored pattern and a matching image subset, where variations in pattern position, orientation, and size do not give rise to false differences. The invention is also a system for analyzing an object image with respect to a model pattern so as to detect flaws in the object image. The system includes extracting pattern features from the model pattern; generating a vector-valued function using the pattern features to provide a pattern field; extracting image features from the object image; evaluating each image feature, using the pattern field and an n-dimensional transformation that associates image features with pattern features, so as to determine at least one associated feature characteristic; and using at least one feature characteristic to identify at least one flaw in the object image. The invention can find at least two distinct kinds of flaws: missing features, and extra features. The invention provides pattern inspection that is faster and more accurate than any known prior art method by using a stored pattern that represents an ideal example of the object to be found and inspected, and that can be translated, rotated, and scaled to arbitrary precision much faster than digital image re-sampling, and without pixel grid quantization errors. Furthermore, since the invention does not use digital image re-sampling, there are no pixel quantization errors to cause false differences between the pattern and image that can limit inspection performance.

Метод и прибор обеспечены для определять rences diffe между, котор хранят картиной и сопрягая подсовокупностью изображения, где изменения в положении, ориентации, и размере картины give rise to ложные разницы. Вымыслом будет также система для анализировать изображение предмета по отношению к примерныйа план для того чтобы обнаружить рванины в изображении предмета. Система вклюает извлекать характеристики картины от примерныйа план; производить вектор-oqenennuh функцию использующ характеристики картины для того чтобы обеспечить поле картины; извлекать характеристики изображения от изображения предмета; оценивающ каждую характеристику изображения, использующ поле картины и преобразование н габаритное которое связывает характеристики изображения с характеристиками картины, для того чтобы обусловить по крайней мере одно связал характеристику характеристики; и использующ по крайней мере одну характеристику характерную для того чтобы определить по крайней мере одну рванину в изображении предмета. Вымысел может найти по крайней мере 2 определенных вида рванин: пропавшие характеристики, и экстренные характеристики. Вымысел предусматривает осмотр картины быстре и более точно чем любой знанный метод прежнего искусствоа путем использование, котор хранят картины представляют идеально пример проверенный предмета, котор нужно найти и, и которая можно перевести, вращано, и вычислено по маштабу к произвольному ре-zaboru чем цифрового изображения точности очень более быстро, и без ошибок квантования решетки пиксела. Furthermore, в виду того что вымысел не использует ре-zabor цифрового изображения, не будут ошибок квантования пиксела для того чтобы причинить ложные разницы между картиной и изображением которая могут ограничивать проведение осмотра.

 
Web www.patentalert.com

< Method for analyzing texture of digital image

< Sensing device with processor

> Imaging

> Pattern generation on a semiconductor surface

~ 00158