Electroplating reactor including back-side electrical contact apparatus

   
   

An apparatus for electroplating a workpiece is disclosed in which the apparatus includes a workpiece holding structure. The workpiece holding structure includes a workpiece support having at least one surface that is disposed to engage a front side of the workpiece and at least one electrical contact disposed for contact with at least one corresponding electrical contact on a back-side of the workpiece. The workpiece includes one or more electrically conductive paths between the at least one corresponding electrical contact and a front-side of the workpiece to facilitate electroplating of the front-side surface. An actuator is provided for driving the workpiece support between a first position in which the at least one electrical contact of the workpiece and the at least one contact of the workpiece holding structure are disengaged from one another, and a second position in which the at least one surface clamps the workpiece in a position in which the at least one electrical contact of the workpiece holding structure electrically engages the at least one electrical contact of the workpiece.

Un aparato para electrochapar un objeto se divulga en el cual el aparato incluya un objeto que lleva a cabo la estructura. El objeto que lleva a cabo la estructura incluye una ayuda del objeto que tiene por lo menos una superficie que se disponga para contratar una parte delantera del objeto y por lo menos de un contacto eléctrico dispuestos para el contacto con por lo menos un contacto eléctrico correspondiente en una parte trasera del objeto. El objeto incluye unas o más trayectorias eléctricamente conductoras entre el por lo menos un contacto eléctrico correspondiente y un delantero-lado del objeto para facilitar el electrochapado de la superficie del delantero-lado. Un actuador se proporciona para conducir la ayuda del objeto entre una primera posición en la cual el por lo menos un contacto eléctrico del objeto y el por lo menos un contacto del objeto que lleva a cabo la estructura se desunan a partir de la una otra, y una segunda posición en la cual la por lo menos una superficie afiance el objeto con abrazadera en una posición a la cual el por lo menos un contacto eléctrico del objeto que lleva a cabo la estructura contrate eléctricamente el por lo menos un contacto eléctrico del objeto.

 
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< Method and apparatus for processing a microelectronic workpiece at an elevated temperature

> Reactor vessel having improved cup, anode and conductor assembly

> Method and apparatus for accessing microelectronic workpiece containers

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