An automated semiconductor processing system has an indexer bay
perpendicularly aligned with a process bay within a clean air enclosure.
An indexer in the indexer bay provides stocking or storage for work in
progress semiconductor wafers. Process chambers are located in the process
bay: A process robot moves between the indexer bay and process bay to
carry semi-conductor wafers to and from the process chambers. The process
robot has a robot arm vertically moveable along a lift rail. Semiconductor
wafers are carried offset from the robot arm, to better avoid
contamination. The automated system is compact and requires less clean
room floor space.
Um sistema processando automatizado do semicondutor tem uma baía do indicador alinhada perpendicular com uma baía process dentro de um cerco limpo do ar. Um indicador na baía do indicador fornece a meia ou o armazenamento para wafers de semicondutor em andamento do trabalho. As câmaras process são ficadas situadas na baía process: Um robô process move-se entre a baía do indicador e a baía do processo para carregar wafers de semicondutor a e das câmaras process. O robô process tem um braço do robô verticalmente móvel ao longo de um trilho do elevador. Os wafers de semicondutor são offset carregado do braço do robô, para evitar mais melhor a contaminação. O sistema automatizado é estojo compacto e requer menos espaço de quarto desinfetado.
