Instead of directly performing defect inspection using a master information
carrier, an inspection substrate is prepared to then bring the master
information carrier in close contact therewith, to thereby transfer a
defect on the master information carrier to the inspection substrate, thus
indirectly inspecting any defect of the master information carrier on the
inspection substrate. Defect inspection is performed on the first-state
inspection substrate before close contacting, so that a defect inspection
result on the second-state inspection substrate after close contacting and
that on the first-state inspection substrate are compared to each other.
Вместо сразу выполнять осмотр дефекта использующ несущую мастерской информации, субстрат осмотра подготовлен после этого для того чтобы принести несущую мастерской информации в тесный контакт therewith, таким образом возвратить дефект на несущей мастерской информации к субстрату осмотра, таким образом косвенно проверяющ любой дефект несущей мастерской информации на субстрат осмотра. Осмотр дефекта выполнен на субстрате осмотра перв-polojeni4 перед близкий контактировать, поэтому что результат проверки дефекта на субстрате осмотра втор-polojeni4 после контактировать конца и то на субстрате осмотра перв-polojeni4 сравнены к каждому другому.
