A method and an apparatus for removing an organic film, such as a resist
film, from a substrate surface are provided wherein a treatment liquid
containing dissolved ozone, and preferably formed from liquid ethylene or
propylene carbonate, or both, is contacted with the substrate having the
organic film, and the organic film removed, wherein the apparatus contains
(A) a treatment liquid delivery device, (B) a film contact device, (C) a
liquid circulation device and (D) an ozone dissolution device.
Um método e um instrumento para remover uma película orgânica, tal como uma película resistir, de uma superfície da carcaça são fornecidos wherein um líquido do tratamento que contem o ozônio dissolvido, e dado forma preferivelmente do carbonato líquido do etileno ou do propylene, ou de ambos, é contatado com a carcaça que tem a película orgânica, e a película orgânica são removidos, wherein o instrumento contem (A) um dispositivo líquido da entrega do tratamento, (B) um dispositivo do contato da película, (C) um dispositivo líquido da circulação e (D) um dispositivo da dissolução do ozônio.
