Light having polarization is irradiated onto an article, and then quality
of the article is diagnosed using a pre-input correlation function between
quality of the article and a variation of polarization of the light
reflected from the article. Further, the quality of the article is
diagnosed by measuring a reflection absorbance difference or a reflection
absorbance ration of light from the article between two wavelenghts, and
by measuring a depolarization degree of polarized light of the reflected
light from the surface of the article. The quality of the article can be
non-destructively diagnosed using a simple system. Further, defects can be
identified of factor-by-factor basis.
La lumière ayant la polarisation est irradiée sur un article, et alors la qualité de l'article est diagnostiquée en utilisant une fonction de corrélation d'pré-entrée entre la qualité de l'article et une variation de la polarisation de la lumière réfléchie de l'article. De plus, la qualité de l'article est diagnostiquée en mesurant une différence d'absorbance de réflexion ou une ration d'absorbance de réflexion de lumière de l'article entre deux wavelenghts, et en mesurant un degré de dépolarisation de lumière polarisée de la lumière réfléchie de la surface de l'article. La qualité de l'article peut être non-destructively diagnostiquée en utilisant un système simple. De plus, des défauts peuvent être identifiés de la base de facteur-par-facteur.
