Methods and apparatus, including computer program products, implementing
and using techniques for open-loop waveform acquisition. In general, in
one aspect, the invention provides a method for open-loop waveform
acquisition. The method includes acquiring an S-curve of an acquisition
loop of an electron-beam probe system. The S-curve represents a response
of the acquisition loop to changes of potential differences between the
acquisition loop and a device under test. The method includes calibrating
the acquisition loop to obtain a linear region in the acquired S-curve and
using the linear portion of the acquired S-curve to calculate voltage at a
probe point of the device under test.
Методы и прибор, включая продукты компьутерной программы, снабжая и используя методы для незамкнутого сет приема формы волны. В общем, в одном аспекте, вымысел обеспечивает метод для незамкнутого сет приема формы волны. Метод вклюает приобретать С-krivy1 петли приема системы зонда электрон-luca. С-krivy1 представляет реакцию петли приема к изменениям потенциальных разниц между петлей приема и приспособлением под испытанием. Метод вклюает калибрировать петлю приема для того чтобы получить линейную зону в приобретенной С-krivom и использование линейной части приобретенной С-krivogo высчитать напряжение тока на этап зонда приспособления под испытанием.
