The present invention sets out to provide a scanning charged particle
microscope equipped with a rapid control function capable of extrapolating
an in-focus point from image information for a single frame and an
automatic focusing system capable of reliably and precisely carrying out a
focusing operation for a horizontal pattern image. The automatic focusing
system provided in the scanning charged particle microscope of the present
invention is provided with means for changing a focal point each raster
scan line, and control means for comparing image information each scanning
line and extrapolating focusing positions. The scanning line can then be
made to be an inclined scanning line that is a combination of a horizontal
component and a vertical component with respect to a chip array on a
semiconductor wafer. Further, a method is adopted comprising a first step
of reliably taking in a coarse in-focus point and a second step of
detecting the in-focus point with a high degree of precision.
La actual invención precisó para proporcionar un microscopio cargado exploración de la partícula equipado de una función de control rápida capaz de extrapolar un punto del en-foco de la información de la imagen para un solo marco y un sistema que se enfocaba automático capaces de confiablemente y exacto realizando una operación que se enfocaba para una imagen horizontal del patrón. El sistema que se enfoca automático proporcionado en el microscopio cargado exploración de la partícula de la actual invención se proporciona los medios para cambiar un punto focal cada línea de exploración de trama, y el control significa para comparar la información de la imagen cada línea de exploración y extrapolar posiciones que se enfocan. La línea de exploración se puede entonces hacer para ser una línea de exploración inclinada que es una combinación de un componente horizontal y de un componente vertical con respecto a un arsenal de la viruta en una oblea de semiconductor. Además, un método se adopta que abarca un primer paso confiablemente de tomar en un punto grueso del en-foco y un segundo paso de detectar el punto del en-foco con un alto grado de precisión.
