The present invention pertains to a system for cleaning wafers that
includes specialized pressurization, process vessel, recirculation,
chemical addition, depressurization, and recapture-recycle subsystems, as
well as methods for implementing wafer cleaning using such a system. A
solvent delivery mechanism converts a liquid-state sub-critical solution
to a supercritical cleaning solution and introduces it into a process
vessel that contains a wafer or wafers. The supercritical cleaning
solution is recirculated through the process vessel by a recirculation
system. An additive delivery system introduces chemical additives to the
supercritical cleaning solution via the solvent delivery mechanism, the
process vessel, or the recirculation system. Addition of chemical
additives to the sub-critical solution may also be performed. The
recirculation system provides efficient mixing of chemical additives,
efficient cleaning, and process uniformity. A depressurization system
provides dilution and removal of cleaning solutions under supercritical
conditions. A recapture-recycle system introduces captured-purified
solvents into the solvent delivery mechanism.
De onderhavige uitvinding behoort tot een systeem om wafeltjes schoon te maken dat gespecialiseerd onder druk zetten, processchip, recyclage, chemische toevoeging, depressurization, en heroveren-kringloopsubsystemen, evenals methodes omvat om wafeltje uit te voeren dat gebruikend een dergelijk systeem schoonmaakt. Een oplosbaar leveringsmechanisme zet een vloeibaar-staats onderkritische oplossing in een overkritische het schoonmaken oplossing om en introduceert het in een processchip dat een wafeltje of wafeltjes bevat. De overkritische het schoonmaken oplossing wordt opnieuw gecirculeerd door het processchip door een recyclagesysteem. Een bijkomend leveringssysteem introduceert chemische additieven aan de overkritische het schoonmaken oplossing via het oplosbare leveringsmechanisme, het processchip, of het recyclagesysteem. De toevoeging van chemische additieven aan de onderkritische oplossing kan ook worden uitgevoerd. Het recyclagesysteem verstrekt zich het efficiënte mengen van chemische additieven, het efficiënte schoonmaken, en procesuniformiteit. Een depressurization systeem verstrekt verdunning en verwijdering van het schoonmaken oplossingen in de overkritische omstandigheden. Een heroveren-kringloopsysteem introduceert vangen-gezuiverde oplosmiddelen in het oplosbare leveringsmechanisme.
