An automatic calibration method and apparatus for robots, particularly
robots used in substrate processing systems. The method for calibrating a
robot in a processing chamber comprises: determining a useable free-space
for the robot in a processing system; determining a distance between a
position of a robot end effector and a target position in the useable
free-space; and generating a path within the useable space from the
position of the robot end effector to the target position using
incremental displacements of the robot end effector that minimize the
distance between the robot end effector and the target position. The
apparatus for calibrating a robot in a processing system comprises: a
sensor disposed at a location to be taught; a receiver disposed on a robot
end effector; and a microprocessor connected to receive signals from the
sensor and the receiver to determine a distance between the sensor and the
receiver, wherein the microprocessor generates a path using incremental
movements that minimizes the distance between the sensor and the receiver.
Une méthode et un appareillage automatiques de calibrage pour des robots, en particulier robots utilisés dans des systèmes de traitement de substrat. La méthode pour calibrer un robot dans une chambre de traitement comporte : détermination d'un libre-espace utilisable pour le robot dans un système de traitement ; détermination d'une distance entre une position d'un terminal de robot et une position de cible dans l'libre-espace utilisable ; et produisant d'un chemin dans l'espace utilisable de la position du terminal de robot dans la position de cible en utilisant les déplacements par accroissement du terminal de robot qui réduisent au minimum la distance entre le terminal de robot et la position de cible. L'appareil pour calibrer un robot dans un système de traitement comporte : une sonde a disposé à un endroit pour être enseignée ; un récepteur a disposé sur un terminal de robot ; et un microprocesseur s'est relié pour recevoir des signaux de la sonde et du récepteur pour déterminer une distance entre la sonde et le récepteur, où le microprocesseur produit d'un chemin en utilisant les mouvements par accroissement qui réduit au minimum la distance entre la sonde et le récepteur.
