Method for fabricating spaced-apart nanostructures

   
   

In accordance with the invention, a spaced-apart array of nanostructures is fabricated by providing a shadow mask having a plurality of spaced apart, relatively large apertures, reducing the size of the apertures to nanoscale dimensions, and depositing a material through the mask to form a plurality of spaced-apart nanostructures. In a preferred embodiment, the spaced apart nanostructures comprise nanoscale islands (nano-islands) of catalyst material, and spaced-apart nanowires such as carbon nanotubes are subsequently grown from the islands.

In Übereinstimmung mit der Erfindung wird eine Raum-auseinander Reihe nanostructures fabriziert, indem man eine Schattenschablone zur Verfügung stellt, die eine Mehrzahl von die auseinander, verhältnismäßig großen Blendenöffnungen hat, die Größe der Blendenöffnungen auf nanoscale Maßen verringert, und ein Material durch die Schablone gesperrt, um eine Mehrzahl der Raum-auseinander nanostructures zu bilden niederlegt. In einer bevorzugten Verkörperung enthalten die Raumgetrenntnanostructures nanoscale Inseln (Nanoinseln) vom Katalysatormaterial, und Raum-auseinander nanowires wie Carbon nanotubes werden nachher von den Inseln gewachsen.

 
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