In addition to health implications, trihalomethanes (THMs) poses a
challenge to the electronic industry where such impurities cannot be
tolerated. A process is provided for removing THMs from high-purity water
used in the electronic industry. The method of the invention comprises
contacting the high-purity water with a membrane degassifier, preferably
operating at a temperature exceeding 45.degree. C.
Εκτός από τις επιπτώσεις υγείας, trihalomethanes (THMs) θέτει μια πρόκληση στην ηλεκτρονική βιομηχανία όπου τέτοιες ακαθαρσίες δεν μπορούν να ανεχτούν. Μια διαδικασία παρέχεται για την αφαίρεση THMs από το high-purity ύδωρ που χρησιμοποιείται στην ηλεκτρονική βιομηχανία. Η μέθοδος της εφεύρεσης περιλαμβάνει την επαφή του high-purity ύδατος με μια μεμβράνη pjo' δεγασσηφηερ, κατά προτίμηση λειτουργών σε μια θερμοκρασία που υπερβαίνει 45.degree. γ.
